Practical MEMS: Analysis and Design of Microsystems, MEMS Sensors (accelerometers, Pressure Sensors, Gyroscopes), Sensor Electronics, Actuators, RF MEMS, Optical MEMS, and Microfluidic Systems - Ville Kaajakari - cover
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Practical MEMS: Analysis and Design of Microsystems, MEMS Sensors (accelerometers, Pressure Sensors, Gyroscopes), Sensor Electronics, Actuators, RF MEMS, Optical MEMS, and Microfluidic Systems
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9780982299104
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