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Measurement Technology for Micro-Nanometer Devices
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A fully comprehensive examination of state-of-the-art technologies for measurement at the small scale • Highlights the advanced research work from industry and academia in micro-nano devices test technology • Written at both introductory and advanced levels, provides the fundamentals and theories • Focuses on the measurement techniques for characterizing MEMS/NEMS devices
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Autore:
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Anno edizione:2016
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Editore:
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Formato:
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Lingua:Inglese
Compatibilità:
Tutti i dispositivi (eccetto Kindle) Scopri di più
Layout:
Reflowable
EAN:
9781118717998
Formato:
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