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Physical and Technical Problems of SOI Structures and Devices: Proceedings of the NATO Advanced Research Workshop, Gurzuf, Ukraine, November 1-4, 1994
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Physical and Technical Problems of SOI Structures and Devices: Proceedings of the NATO Advanced Research Workshop, Gurzuf, Ukraine, November 1-4, 1994
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In this text, specialists in silicon-on-insulator technology from both East and West meet, giving the reader the chance to become acquainted with work from the former Soviet Union, hitherto only available in Russian and barely available to western scientists. Keynote lectures and state-of-the-art presentations give a wide-ranging panorama of the challenges posed by SOI materials and devices, material fabrication techniques, characterization, device and circuit issues.
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Curatore:
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Editore:
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Collana:NATO Science Partnership Subseries 3: High Technology
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Anno:1995
Rilegatura:
Hardback
Pagine:
300 p.
Testo in English
EAN:
9780792336006
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