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Micro and Nano Fabrication

di Hans H. Gatzen (Autore) ,

Jürg Leuthold (Autore) ,

Volker Saile (Autore)

Springer, 2015

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Descrizione

For Microelectromechanical Systems (MEMS) and Nanoelectromechanical Systems (NEMS) production, each product requires a unique process technology. This book provides a comprehensive insight into the tools necessary for fabricating MEMS/NEMS and the process technologies applied. Besides, it describes enabling technologies which are necessary for a successful production, i.e., wafer planarization and bonding, as well as contamination control.

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Dettagli

Autore:

Hans H. Gatzen, Jürg Leuthold, Volker Saile

Anno edizione:

2015

Editore:

Springer

Formato:

EPUB2 con Adobe DRM

Testo in en

Compatibilità:

Tutti i dispositivi (eccetto Kindle) Scopri di più

Layout:

Reflowable

EAN:

9783662443958

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