Micro and Nano Fabrication: Tools and Processes - Hans H. Gatzen,Volker Saile,Jürg Leuthold - cover
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Micro and Nano Fabrication: Tools and Processes
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Descrizione


For Microelectromechanical Systems (MEMS) and Nanoelectromechanical Systems (NEMS) production, each product requires a unique process technology. This book provides a comprehensive insight into the tools necessary for fabricating MEMS/NEMS and the process technologies applied. Besides, it describes enabling technologies which are necessary for a successful production, i.e., wafer planarization and bonding, as well as contamination control.

Dettagli

Testo in English
235 x 155 mm
9783662443941
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