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Plasma Processing of Semiconductors
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Plasma Processing of Semiconductors
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Plasma Processing of Semiconductors contains 28 contributions from 18 experts and covers plasma etching, plasma deposition, plasma-surface interactions, numerical modelling, plasma diagnostics, less conventional processing applications of plasmas, and industrial applications. Audience: Coverage ranges from introductory to state of the art, thus the book is suitable for graduate-level students seeking an introduction to the field as well as established workers wishing to broaden or update their knowledge.
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Curatore:
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Editore:
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Collana:NATO Science Series E:
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Anno:2012
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Rilegatura:Paperback / softback
Pagine:
613 p.
Testo in English
Dimensioni:
240 x 160 mm
EAN:
9789401064866
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