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Silicon Anodization as a Structuring Technique: Literature Review, Modeling and Experiments
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Silicon Anodization as a Structuring Technique: Literature Review, Modeling and Experiments
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Alexey Ivanov investigates the application of a silicon anodization process as a three-dimensional structuring technique, where silicon is transformed into porous silicon as a sacrificial layer or directly dissolved in electropolishing regime. The work contains a detailed state of the art, experimental studies and modeling of the process for basic shape controlling techniques. Limitations of the developed FEM model with secondary current distribution are discussed. ?
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Autore:
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Editore:
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Anno:2017
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Rilegatura:Paperback / softback
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Pagine:316 p.
Testo in English
Dimensioni:
210 x 148 mm
EAN:
9783658192372
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