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Novel Silicon Based Technologies: Conference Proceedings
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Novel Silicon Based Technologies: Conference Proceedings
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Eight contributions address: GaAs on Si, ion beam synthesis in silicon, ion beam processing of chemical vapor deposited silicon layers, technology and devices for silicon based three-dimensional circuits, integrated fabrication of micromechanical structures on silicon, micromachining of silicon for
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Curatore:
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Editore:
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Collana:NATO Science Series E:
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Anno:1991
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Rilegatura:Hardback
Pagine:
292 p.
Testo in English
Dimensioni:
234 x 156 mm
Peso:
588 gr.
EAN:
9780792311126
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