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Atomic Layer Deposition for Semiconductors
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Atomic Layer Deposition for Semiconductors
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Offering thorough coverage of atomic layer deposition (ALD), this book moves from basic chemistry of ALD and modeling of processes to examine ALD in memory, logic devices and machines. Reviews history, operating principles and ALD processes for each device.
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Curatore:
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Editore:
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Anno:2016
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Rilegatura:Paperback / softback
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Pagine:263 p.
Testo in English
Dimensioni:
235 x 155 mm
Peso:
4219 gr.
EAN:
9781489979438
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