Libri di H Wu
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Meta-Pellicle Wavefront Pre-Correction for High-NA EUV Lithography: Metasurface pellicles, phase/polarization pre-distortion, mask 3D shadowing compensation, Zernike budget tuning, thermal-radiative co-design, 2 nm/3 nm EPE/MEEF reduction With Python
Venditore: FeltrinelliIndependently Published, 2025Libri in Inglese | Science, Computer & TechnologyDisponibilità in 3 settimane126,78 € -
High-NA EUV Imaging and Mask 3D Effects: 0.55 NA anamorphic optics, reflective reticle, absorber shadowing, telecentricity error, Bossung tilt, best-focus shift, k1 optimization, 2 nm/3 nm node patterning, EPE/MEEF budgeting With Python
Venditore: FeltrinelliIndependently Published, 2025Libri in Inglese | Science, Computer & TechnologyDisponibilità in 3 settimane126,78 €
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