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Mikrosystemtechnik: Prozessschritte, Technologien, Anwendungen
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Mikrosystemtechnik: Prozessschritte, Technologien, Anwendungen
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Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erlautert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien fur Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknupfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die moeglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflachenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezuglich ihrer Kompatibilitat zur Mikroelektronik bewertet.
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Autore:
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Editore:
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Anno:2006
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Rilegatura:Paperback / softback
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Pagine:274 p.
Testo in German
Dimensioni:
210 x 148 mm
EAN:
9783835100039
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